Properties of Sequential Lateral Solidification (SLS) Crystallized Poly-Si Films and Melting Process Simulation

Kim, Yong-Hae; Sohn, Choong-Yong; Chung, Choong-Heui; Ko, Young-Wook; Lee, Jin-Ho

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Kim, Yong-Hae (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Sohn, Choong-Yong (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Chung, Choong-Heui (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Ko, Young-Wook (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Lee, Jin-Ho (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display

발행연도: 2003.1

수록면: 248 - 251 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

Fabrication of Thin Film Transistor on PES substrate using Sequential Lateral Solidification Crystallized Poly-Si Films

Kim , Yong-Hae , Chung 외 16명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2005.01 학술대회자료

2003

Properties of Sequential Lateral Solidification (SLS) Crystallized Poly-Si Films and Melting Process Simulation

Kim , Yong-Hae , Sohn 외 7명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2003.01 학술대회자료

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The large size grain of poly-Si film is obtained above the upper limit of excimer laser energy at which the random nucleation occurs. We simulate the time dependent temperature profile of ${\alpha}-Si/SiO_2/Si$ substrate structure according to the excimer laser energy with $ANSYS^{\circledR}$ simulator. As the thickness is increased, the laser energy for the melting of ${\alpha}-Si$ film is increased.

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김용해

소속기관 한국전자통신연구원 실감영상소자연구그룹

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 7 이용수 16

Sohn, Choong-Yong

소속기관 LG.Philips LCD R&D Center

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 3

Chung, Choong-Heui

소속기관 IT Convergence & Comonents Lab., ETRI

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 8 이용수 2

Ko, Young-Wook

소속기관 Electronics and Telecommunications Research Institute

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 5 이용수 0

Lee, Jin-Ho

소속기관 Dept. of Display Materials Engineering, Kyung Hee Univ.

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 21 이용수 8

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