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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김경환 (경원대학교 전기정보공학과) 김현웅 (경원대학교 전기정보공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제4권 제4호
발행연도
2005.1
수록면
5 - 8 (4page)

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In this study, we prepared the ITO thin film for TOLED(Top-emitting OLED) or flexible display at room temperature using the FTS(Facing Targets Sputtering Apparatus). We observed characteristics of deposited thin films as a function of sputtering conditions. XRD patterns were independence trom oxygen gas flow and input current. But electrical and optical properties were strongly dependence. In the results, we could prepare good properties of ITO thin films resistivity of $4.27X10^{-4}[\Omega-cm]$, transmittance of over 80% at working gas pressure 1[mTorr], input current 0.6[A], oxygen gas ratio 0.3[sccm], at room temperature.
#FTS #ITO #sputtering

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