유도결합형 플라즈마 식각공정을 통해 제작된 460 nm 격자를 갖는 나노 광결정 특성

최재호; 김근주

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최재호 (전북대학교) 김근주 (전북대학교)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제5권 제2호

발행연도: 2006.1

수록면: 1 - 5 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2009

광결정 Nanocavity를 갖는 InGaN/GaN 양자우물구조의 청색 광소자 공정 및 특성평가

최재호 , 김근주 , 이정택 전기전자재료학회논문지 2009.01 학술저널

2006

유도결합형 플라즈마 식각공정을 통해 제작된 460 nm 격자를 갖는 나노 광결정 특성

최재호 , 김근주 반도체및디스플레이장비학회지 2006.01 학술저널

InGaN/GaN 양자우물층 위에 제작된 460nm 격자의 GaN 나노박막 광결정 특성

최재호 , 김근주 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

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The GaN thin film on the 8 periods InGaN/GaN multi-quantum well structure was grown on the sapphire substrate using metal-organic chemical vapor deposition. The nano-scaled triangular-lattice holes with the diameter of 150 nm were patterned on a polymethylmethacrylate blocking film using an electron beam nano-lithography system. The thin slab and two-dimensional photonic crystals with the thickness of 28 nm were fabricated on the GaN layer for the blue light diffraction sources. The photonic crystal with the lattice parameter of 460 nm enhances spectral intensity of photoluminescence indicating that the photonic crystals provides the source of nano-diffraction for the blue light of the 450-nm wavelength.

#Nanophothotonics #Nanolithography #Photonic crystal #GaN semiconductor

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최재호

소속기관 전북대학교 기계공학과

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 6 이용수 14

김근주

소속기관 전북대학교 기계공학과

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 13 이용수 29

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