Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향

백용구 ,  박영진 ,  김종철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

열처리 조건이 PECVD방식으로 증착된 Ta2O5 박막 특성에 미치는 영향 ( Effect of Annealing Conditions on Ta2O5 Thin Films Deposited By PECVD System )

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .08

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01

TaO 고유전박막의 미세조직과 열적안정성

민석홍 ,  정병길 ,  최재호 외 5명

한국재료학회지

2002 .01

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구

서유석 ,  박대규 ,  정철모 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

Ta-Al 합금박막의 열적안정성에 미치는 질소첨가 효과

조원기 ,  김태영 ,  강남석 외 2명

한국재료학회지

1997 .01

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

CVD법으로 제작한 $_{(1-x)}Ta_2O_{5-x}TiO_2$ 박막의 열처리 온도에 따른 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  강호재 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

구리 확산방지막으로서의 Ta와 Nb 박막의 특성에 관한 연구

최중일 ,  이종무

한국재료학회지

1996 .01

B-TA 기술 및 개발현황

전경표 ,  이창범 ,  김상중

한국통신학회지(정보와통신)

1995 .04

열처리 조건이 실리콘 기판위의 Ta2O5 박막에 미치는 영향

박성욱 ,  백용구

전자공학회지

1992 .05

PREFERRED ORIENTATION AND MICROSTRUCTURE OF MOD DERIVED SrBi_2xTa₂O₉ THIN FILMS WITH Bi CONTENT x

Dae Joong Yeon ,  Joo Dong Pa ,  k 외 1명

한국표면공학회지

1996 .12

나노급 WS₂ 파우더 함유량 및 온도에 따른 ta-C박막의 특성 연구

최시근 ,  김종형 ,  성지현 외 5명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2015 .10

새로운 열처리법을 통한 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 저온 성장

이관 ,  최훈상 ,  허재성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$NH_3$ 분위기 열처리에 의한 Ti(Ta)N 형성

박수진 ,  이근우 ,  배규식 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

반응성 스퍼터링으로 제조한 ${Ta_2}{O_5}/{Al_2}{O_3}$ 다충박막의 유전특성

최재훈 ,  오태성

한국재료학회지

2001 .01