4H-SiC wafer의 반응성 이온 식각 공정과 분석

신동열 ,  강수창 ,  신무환

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

알루미늄 식각을 위한 RIE 장치의 제작 및 성능의 연구 ( A study on the fabrication and performance of RIE mode Aluminium Etching System )

황기웅 ,  김윤택

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

마그네트론 RIE을 이용한 M/NEMS용 다결정 3C-SiC 식각 연구

정귀상 ,  온창민 ,  남창우

센서학회지

2007 .01

Si(100)기판위에 성장된 3C-SiC 박막의 반응성 이온식각 특성

정귀상 ,  Shigehi ,  o Nishino 외 1명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

다결정 3C-SiC 박막의 마그네트론 RIE 식각 특성

온창민 ,  정귀상

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

표면자장이 RIE에 미치는 영향 ( The Effects of a Surface Magnetic Field on RIE )

한해욱 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

RIE Damage에 의한 산화지연효과 및 후처리 기술 ( Oxidation Retardation Phenomenon Due to RIE Damage and It`s Post-RIE Treatment )

이원규 ,  구경완 ,  홍봉식

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

O₂ RIE 공정을 이용한 20㎛ 두께의 폴리이미드 마이크로 구조물의 제작

백창욱 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

RIE로 처리된 GaAs 표면의 전기적 특성연구 ( A Study on the Electrical Properties of GaAs Surface After RIE Process )

조준환 ,  임한조 ,  이유종 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

RIE로 처리된 GaAs 표면의 전기적 특성연구

조준환 ,  임한조 ,  이유종 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

$O_2$/$SF_6$/$CH_4$ 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각

박연현 ,  주영우 ,  김재권 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

실험계획법에 의한 $CF_4/O_2$ 플라즈마 에칭공정의 최적화에 관한 연구

최만성 ,  김광선

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

SiC/SiC 복합재료의 제조 및 특성

이상필 ,  이진경 ,  손인수

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

SiC 단체와 SiC/SiC 복합재료의 충격파괴거동

서민수 ,  서창민

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

저온을 이용한 Contact Etching Process 에 대한 연구

황정원 ,  변광욱 ,  양태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

반응소결 SiC 재료와 SiC_f/SiC 복합재료의 특성

진준옥(Joon-Ok Jin) ,  이상필 ,  이진경 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

용융함침법에 의한 반응소결 SiC/SiC 복합재료의 특성 평가

이상필 ,  신윤석 ,  A. Kohyama

대한기계학회 논문집 A권

2007 .02

다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O/N 플라즈마 건식 식각

김재권 ,  김주형 ,  박연현 외 5명

한국재료학회지

2007 .01