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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1990.11
- 수록면
- 460 - 463 (4page)
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목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 식각 특성 실험
3. RIE 공정에 의한 Schottky diode의 특성 측정
4. 유전체 박막의 식각 및 GaAs wafer의 via-hole식각
5. 결론
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