초고집적 소자 제조를 위한 건식 식각 기술 동향

권광호 ,  김보우

전자공학회지

1991 .09

건식 식각기술의 동향분석

박성호 ,  김진섭 ,  강봉구

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

고집적 메모리의 테스트 기술

안영창

전자공학회지

1998 .11

$SF_6/Ar$플라즈마를 사용한 캐패시터 전극용 백금 박막의 식각 특성

주섭열 ,  황재희 ,  김상훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

차세대 기억소자의 캐패시터 형성 기술

이경수 ,  이병헌

전자공학회지

1990 .08

고집적 DRAM용 캐패시터 구조 및 기술 동향

박영진 ,  김종철 ,  박헌섭 외 1명

전자공학회지

1991 .09

CH₄/H₂를 사용한 InP계 광전소자의 건식 식각 공정에 관한 연구

박종대 ,  유지범 ,  박찬용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과

金南勳 ,  金昌日 ,  權光虎 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .06

내열성 전극재료를 이용한 GaAs 고집적소자 공정기술

이재신 ,  강진영

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

저유전 SiO2 에어로겔 박막의 건식식각 특성연구

왕석주 ,  박형호

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

자기조립된 금속나노입자를 이용한 비휘발성 메모리 소자

이장식

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

하이브리드 전극을 활용한 고효율 슈퍼캐패시터 제작에 관한 연구

장윤석 ,  조정대 ,  장현정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

박막트랜지스터의 습식 및 건식 식각 공정

박춘식 ,  허창우

한국정보통신학회논문지

2009 .07

소자 분야 - 불순물 활성화 열처리가 MOS 캐패시터의 게이트 전극과 산화막의 특성에 미치는 효과

조원주 ,  김응수

전자공학회논문지-D

1998 .10

박막 두께변화에 따른 ZnO 저항 메모리소자의 특성 변화

강윤희 ,  최지혁 ,  이태일 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

유기 메모리 소자

육경수 ,  전순옥 ,  이준엽

고분자 과학과 기술

2009 .08

유기 메모리 소자

임태훈 ,  박재은 ,  표승문

고분자 과학과 기술

2008 .06

초고집적 기억소자의 패키지 전망

이재진 ,  김정덕

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06