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이용수
Abstract
1. 서론
2. 해석방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용
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Roles of SF₆, O₂ and Ar in deep silicon via hole etching
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SF₆-Ar 混合氣體의 MCS-BEq알고리즘에 의한 電子 平均에너지 解析
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전자충돌과정을 통한 SF₆ 혼합기체의 절연특성 분석
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SF₆ 기체와 SF₆-N₂ 혼합기체의 초기코로나 특성
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2000 .07
$SF_6/Ar$플라즈마를 사용한 캐패시터 전극용 백금 박막의 식각 특성
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2001 .01
Separation of $SF_6$ from $SF_6/N_2$ Mixtures Using Polymeric Membranes
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