대향타겟스퍼터링으로 제작된 박막의 결정 배향성

김경환 ,  손인환 ,  송기봉 외 3명

한국표면공학회지

1998 .08

직류 대향타겟스퍼터링법으로 제작된 ZnO 박막의 c-축 배향성

금민종 ,  손인환 ,  공석현 외 2명

한국표면공학회지

2000 .01

스퍼터링법으로 증착한 Al 박막의 결정 배향성에 관한 연구

최한메 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

고속ㆍ저온 스퍼터링법으로 제작된 ZnO 박막의 c-축 배향성

금민종 ,  손인환 ,  장경욱 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

스퍼터링법으로 제작된 Co-Cr 박막에서 가스 압력이 c-축 배향성에 미치는 영향

최성민 ,  손인환 ,  김재환 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

자성박막 제작용 대향타겟식 스퍼터 장치에 관한 연구

김경환 ,  송기봉 ,  손인환 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

대향타겟스퍼터링장치에 의해 증착된 ZnO 박막의 결정화적 특성

금민종 ,  성하윤 ,  공석현 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

The Magnetic Characteristics of Co-Cr Thin Films Deposited by Facing Targets Sputtering

K. H. KIM ,  I. H. SON ,  M. H. KIM 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절

이태호 ,  이규한 ,  안진호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

대향타겟 스퍼터링법으로 증착한 AZO 투명전도성 필름

장혜영 ,  최인규 ,  김상호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석

현승민 ,  오민섭

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

스퍼터링으로 제조한 PZT박막에 대한 V의 첨가 효과

길덕신 ,  주재현 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

스퍼터링을 이용한 바나듐 합금 박막화에 관한 연구

윤용호 ,  정지훈

화학공학

2016 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 AlN 박막의 물리적, 화학적 특성에 관한 연구

윤철 ,  김상호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10