Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

SAPPHIRE SURFACE MODIFIED BY REACTIVE ION BEAM FOR GaN DEPOSITIONS

Kim ,  H.J. ,  Pa 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

BCl3를 이용한 GaN계 질화합물 반도체의 RIE에 관한 연구 ( Studies on Reactive Ion Etching of GaN using BCI3 )

윤관기 ,  최용석 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

A Study of Dry Etch Mechanism of the GaN using Plasma Mass Spectrometry

H. S. Kim ,  W. J. Lee ,  J. W. Jang 외 3명

한국표면공학회지

1999 .06

Reactive Ion Etching 된 단일층 그래핀의 표면특성 분석

손영준 ,  전경용 ,  한창수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

DRY ETCHING TECHNOLOGY

Takafumi Tokunaga

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Engineering of Bi-/Mono-layer Graphene Film Using Reactive Ion Etching

M. I ,  annejad ,  W. Alyalak 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Study on the Wide Ion Beam Etching Process for Steel Industry

BomSok Kim ,  ChanYoung Lee ,  JaeSang Lee 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

BCI₃를 이용한 GaN계 질화합물 반도체의 RIE에 관한 연구

윤관기 ,  최용석 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

직접광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The reactive ion etching of silica film with high selectivity for integrated optical device production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

한국통신학회 기타 간행물

1997 .01

p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발

Won-Ho Jang ,  Ho-Young Cha

한국정보통신학회논문지

2020 .02

집적광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The Reactive ion Etching of Silica film with High Selectivity for Integrated Optical Device Production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

대한전자공학회 기타 간행물

1997 .01

Neural Networks을 이용한 Reactive Ion Etching 공정의 실시간 오류 검출에 관한 연구

유경한 ,  이송재 ,  소대화 외 1명

한국정보통신학회논문지

2005 .11

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구

정석용 ,  박철희 ,  김성대 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

플라즈마 화학증착한 aluminum oxide의 reactive ion etching 특성

김형석 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01