Plasma surface kinetics studies of silicon oxide etch process in fluorocarbon plasmas

Won-Seok Chang ,  Yeong-Geun Yook ,  Poo-Reum Chun 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Mechanism of SiO2 etching in fluorocarbon plasmas

조성운 ,  김창구

한국에너지학회 학술발표회

2014 .04

Optical Modeling of Fluorocarbon Polymer Thin Films on Silicon Substrates

Lee ,  Kang-Kuk ,  Pa 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system

Yoo ,  Jin-Soo ,  Lee 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

MECHANISM OF ETCHING OF SILICON NITRIDE IN CF4-O2 PLASMA

V. P ,  emachand ,  an 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Temperature Monitoring of Silicon Wafer Surface Exposed to Plasma Discharge

임영대 ,  이승환 ,  유원종

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

GPU based 3D feature profile simulation for high-aspect ratio contact hole etch process in fluorocarbon plasmas

Yeong-Geun Yook ,  Won-Seok Chang ,  Poo-Reum Chun 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

ANALYSIS OF ETCHED SILICON SURFACE FOR TRENCH ISOLATION TECHNIQUES

Kim ,  S.G. ,  Kim 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Effects of N₂addition on chemical etching of silicon nitride layers in F₂/Ar/N₂remote plasma processing

S. M. Pa ,  k ,  H. W. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Plasma Etching에 의한 Silicon 태양전지 표면의 광 반사도 감소와 효율 변화

류승헌 ,  Cheng Yang ,  유원종 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

A Novel Compensation Method for KOH Etching of ( 110 ) Silicon

김병욱 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Silicon Pressure Sensor

최시영

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Effect of Atmospheric Pressure Plasma on Surface Characteristics of Silicon Rubber

서민강 ,  박수진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04