Plasma Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition of PZT Ferroelectric Thin Films

Won Gyu Lee ,  Seong Il Woo

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD법을 이용한 Sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) 기판상의 GaN 선택적 성장특성 연구

이재인 ,  변동진 ,  금동화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

정원국

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1990 .05

TiN Film Formation using Low-Pressure Metalorganic Chemical Vapor Deposition ( LP-MOCVD ) for ULSI Applications

J. S. Kim ,  S. W. Pa ,  k 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

유기금속화학증착법 ( MOCVD : MetalOrganic Chemical Vapor Deposition )

김무성

대한전자공학회 단기강좌

1986 .01

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

모래와 실트의 혼합층에서 순간충격시험에 의한 지하수위 강하구역의 공극체적 산정

김태영 ,  강동환 ,  정상용 외 2명

지하수토양환경

2007 .01

Effects of ZnO coatings deposited on PEN by plasma enhanced chemical vapor deposition

송준용 ,  김원호 ,  김주호 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .04

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Metalorganic Chemical Vapor Deposition of RuO_2 Thin Film using Direct Liquid Injection (DLI) system

이동진 ,  이시우

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Studies on the Formation of Indium Droplets in InGaN Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

H. Pa ,  k ,  Y. Pa 외 4명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

플라즈마 화학기상증착법으로 증착법으로 게이트 유전체용 하프늄 옥사이드의 특성평가

최규정 ,  신웅철 ,  윤손길

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

New vapor-phase deposited polymer films by initiated chemical vapor deposition and their bio-device applications

임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

Characterization of SrRuO3 Conducting Thin Films Grown on p-Si (100) Substrates by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

Nguyen Duy Cuong ,  윤순길

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2005 .01

SBT 벌크 세라믹스 특성에 관한 연구

馬碩範 ,  李勳九

전기학회논문지 P

2000 .04

플라즈마 화학 증착법으로 제조된 (Ti_1-xAl_x)N 박막의 열처리에 따른 특성 평가

이승훈 ,  임주완

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

Cl₂ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 식각특성

金東杓 ,  金昌日

전기학회논문지 C

2001 .05

MOCVD로 제작한 ZnO의 성장온도에 따른 특성 변화

서현석 ,  정의혁 ,  조중열 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

Effect of substrate temperature on the morphology and water vapor transmission property of ZnO film on polymer substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition

송준용 ,  정현옥 ,  박규대 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04