$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Cl2/CF4/Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상

김동표 ,  김창일 ,  이철인 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

CF₄/Ar 플라즈마를 이용한 SBT 박막 식각에 관한 연구

김동표 ,  서정우 ,  김승범 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

유도결합형 플라즈마를 이용한 비파괴 판독형 강유전체 메모리를 위한 강유전체 SBT 박막의 건식 식각 특성

권영석 ,  최인훈 ,  심선일 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

모래와 실트의 혼합층에서 순간충격시험에 의한 지하수위 강하구역의 공극체적 산정

김태영 ,  강동환 ,  정상용 외 2명

지하수토양환경

2007 .01

유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성

이영식 ,  나선웅 ,  이내응 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

상부전극에 따른 SBT 커패시터의 전기적 특성

조춘남 ,  오용철 ,  김진사 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

SBT 벌크 세라믹스 특성에 관한 연구

馬碩範 ,  李勳九

전기학회논문지 P

2000 .04

다양한 상부전극에 따른 SBT 커패시터의 전기적 특성

曺春男 ,  吳容喆 ,  金鎭士 외 5명

전기학회논문지 C

2003 .12

Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )

유재흥 ,  김남훈 ,  장의구 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .07

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Platinum Etching in an Inductively Coupled Cl2 Plasma

C. S. Yoon ,  T. S. Kim ,  J. G. Lee 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Ferroelectric 캐패시터의 하부전극에의 응용을 위한 IrO 박막 증착 및 특성분석

허재성 ,  최훈상 ,  김도영 외 3명

한국재료학회지

2003 .01

Cl₂/HBr,Cl₂/N₂ 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 식각 공정시 발생하는 결함의 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  이주욱 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

He/BCl₃/Cl₂유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성

우종창 ,  김창일 ,  주영희 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01