유기금속화학증착법 ( MOCVD : MetalOrganic Chemical Vapor Deposition )

김무성

대한전자공학회 단기강좌

1986 .01

MOCVD법을 이용한 Sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) 기판상의 GaN 선택적 성장특성 연구

이재인 ,  변동진 ,  금동화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD법으로 증착된 구리 박막의 특성평가

표성규 ,  김헌도 ,  김삼동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Carrier gas$(N_2,\;He)$가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구

김재호 ,  이재갑 ,  지충수 외 3명

한국재료학회지

1996 .01

Plasma Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition of PZT Ferroelectric Thin Films

Won Gyu Lee ,  Seong Il Woo

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Deposition of $CeO_2$ on Biaxially Textured Ni Substrates by a Metalorganic Chemical vapor Deposition Method

Kim ,  Ho-Jin ,  Joo 외 17명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2002 .01

Studies on the Formation of Indium Droplets in InGaN Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

H. Pa ,  k ,  Y. Pa 외 4명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

MOCVD로 제작한 ZnO의 성장온도에 따른 특성 변화

서현석 ,  정의혁 ,  조중열 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

THE FORMATION OF TIN SULFIDE THIN FILMS BY VAPOR TRANSPORT DEPOSITION

Dajeong LEE ,  Jaeyeong HEO

AFORE

2017 .11

MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS

Lee ,  Sang-Hyeob ,  Kim 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선

오상헌 ,  김지용 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Plasma-Enhanced MOCVD법에 의해 MOCVD-Pt 위에 제조된 강 유전체 Sr${Bi}_{2}{Ta}_{2}{O}_{9}$ 박막의 특성

성낙진 ,  최은석 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Metalorganic Chemical Vapor Deposition of RuO_2 Thin Film using Direct Liquid Injection (DLI) system

이동진 ,  이시우

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

정원국

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1990 .05

Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films

Jung J. Kim ,  Jun K. Kim ,  Jin W. Pa 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

O₃-MOCVD법에 의한 대면적 Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성

김용준 ,  배정운 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

MOCVD 공정을 이용한 GaAs 박막성장의 비선형 표면반응모델에 대한 연구

임익태

대한기계학회 논문집 B권

2008 .03