플라즈마 화학 증착법으로 제조된 (Ti<SUB>1-x</SUB>Al<SUB>x</SUB>)N 박막의 열처리에 따른 특성 평가

이승훈; 임주완

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이승훈 임주완

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2001년도 추계 학술발표회 초록집

발행연도: 2001.11

수록면: 28 - 28 (1page)

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