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저자정보
안경준 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구) 김현수 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구) 이용혁 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구) 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구) 우형철 (코리아 바큠테크[주])
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
발행연도
1997.1
수록면
100 - 100 (1page)

이용수

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1998

자장강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 산화막 식각에 대한 연구
안경준 ,  김현수 ,  우형철 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 1998.11 학술저널
자장 강화된 유도결합형 플라즈마의 특성 및 광도파로 제작을 위한 산화막 식각에의 응용에 관한 연구
안경준 ,  이도행 ,  유지범 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1998.05 학술대회자료

1997

자장 강화된 유도결합형 플라즈마 특성 및 광도파로형 산화막 식각에의 응용
안경준 ,  김현수 ,  이용혁 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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