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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2003.5
수록면
3 - 3 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2003

내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) System에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향
김경남 ,  이영준 ,  경세진 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003.05 학술대회자료
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
김경남 ,  이영준 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.02 학술대회자료

2002

BCl₃ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구
김경남 ,  김동우 ,  정창현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료

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Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구
김대철 ,  김종식 ,  김용현 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 .02
대면적 내장 선형 ICP(inductively coupled plasma) system에서 자장이 플라즈마와 PR(Photoresist) 식각 특성에 미치는 영향
오창권 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005 .05

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