지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
고효율 OLED 제작을 위한 플라즈마 조건 변화에 따른 ITO 특성 분석
전자공학회논문지-IE
2007 .06
A Study of Etch Characteristics of ITO Thin Film using the Plasma Diagnostic Tools
한국정보디스플레이학회 학술대회
2000 .01
유도결합플라즈마를 이용한 O2/BCl3/Ar가스에 따른 Indium Tin Oxide 박막의 식각 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2010 .01
유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각
전기전자재료학회논문지
2004 .01
ITO/Ni/ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Reactive Ion Etching 에 의한 ITO / 반도체 및 ITO / BaTiO3 구조의 선택적 에칭 특성 ( Selective Etching Characteristics of ITO / Semiconductor and ITO / BaTiO3 Structures by Reactive Ion Etching )
전자공학회논문지-A
1995 .01
유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 ITO 및 ITO/Ag/ITO 박막의 미세조직과 투명 전극 특성
한국재료학회지
2006 .01
수소 플라즈마로 처리한 ITO 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
E-ICP에 의한 산화막 식각특성
대한전자공학회 학술대회
2000 .06
질소, 산소, 아르곤 플라즈마와 자외선에 의하여 표면 처리한 ITO의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
ITO/AI/ITO 다층 박막의 광학적 전기적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과
전기학회논문지 C
1999 .06
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
0