PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

공정데이터를 이용한 PECVD공정의 Fault Localization

이혜민 ,  홍경진 ,  Shallon Stubbs 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2013 .11

ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 증착시 형성되는 $SiO_2$에 관한 연구

안성덕 ,  김일 ,  김종석 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Formation of SiO:CH Particles by PECVD and Microstructures of Their Deposits

Yasushi Inoue ,  Shigeki Kuzuoka ,  Osamu Takai

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

HMDSO/O₂ PECVD를 이용한 SiO₂ 박막 증착 연구

이승훈 ,  강용진 ,  김종국 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

아르곤 스퍼터링 방법을 이용한 PECVD 실리콘 산화막의 특성 향상

박민 ,  박종문 ,  현영철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SiO₂ 절연박막의 구조분석 및 절연저항에 관한 연구

박태순 ,  이성래

한국표면공학회지

2002 .04

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO₂ 증착의 불균일성 원인 연구

함용현 ,  이현우 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

SiO₂ 나노 분말을 이용한 필름의 특성

홍성제 ,  김종웅 ,  이성원 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

PECVD산화막을 이용한 삼층금속배선공정에 관한 연구 ( The Study on the Triple-Level metallization process Using PECVD Oxide )

백종태 ,  허성익 ,  박영준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

Remote PECVD SiO2를 이용한 InSb MIS소자의 특성 ( Characteristics of InSb MIS device prepared by remote PECVD SiO2 )

이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .12

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

ECR-PECVD법으로 증착된 $Al_{2}O_3$ 절연 박막의 특성에 관한 연구

이재균 ,  전병혁 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01