A Study of InSb MIS Structure Prepared by Remote PECVD

이재곤 ,  박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

The Study of $SiO_2$, $Si_3N_4$ passivation layers grown by PECVD for the indiumantimonide photodetector

이재열 ,  김정섭 ,  양창재 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

PECVD 공정에 의해 제조된 $SiO_2$ 절연층에 관한 연구

이재욱 ,  이수열 ,  선우국현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

순차적 열증착에 의한 InSb 박막 형성에 관한 연구 ( A Study on the Formation of InSb Thin Films by the Sequential Evaporation )

전유찬 ,  이승기 ,  윤종만 외 2명

전자공학회논문지-A

1991 .06

InSb 결정 성장과 Zn 확산에 관한 연구

김백년 ,  송복식 ,  문동찬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

InSb단결정내에서 Zn의 열적확산 및 전기적 특성

박호진 ,  남태철 ,  최세곤

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

InSb 단결정 내에서 Zn의 열적 확산 및 전기적 특성 ( Thermal diffusion and electrical properties of Zn in InSb )

박호진 ,  남태철 ,  최세곤

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Study of passivation layers for the indium antimonide photodetector

이재열 ,  김정섭 ,  양창재 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

In/Sb/In 다층막 구조에 의한 박막형 InSb 홀 소자의 제작

尹鍾晩 ,  李承起 ,  吳侊勳 외 1명

전기학회논문지

1991 .06

InSb 검출기를 이용한 방사선 반응 측정

박세환 ,  김한수 ,  송태영 외 2명

대한방사선방어학회 학술발표회

2009 .01

아르곤 스퍼터링 방법을 이용한 PECVD 실리콘 산화막의 특성 향상

박민 ,  박종문 ,  현영철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 증착시 형성되는 $SiO_2$에 관한 연구

안성덕 ,  김일 ,  김종석 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Formation of SiO:CH Particles by PECVD and Microstructures of Their Deposits

Yasushi Inoue ,  Shigeki Kuzuoka ,  Osamu Takai

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

HMDSO/O₂ PECVD를 이용한 SiO₂ 박막 증착 연구

이승훈 ,  강용진 ,  김종국 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

InSb TFT의 제작과 최적화 기법에 의한 파라메타 추출 ( Fabrication of InSb TFT and Parameters Extraction Using Optimization Technique )

김홍배 ,  손상희 ,  곽계달

전자공학회논문지

1987 .01