PECVD산화막을 이용한 삼층금속배선공정에 관한 연구 ( The Study on the Triple-Level metallization process Using PECVD Oxide )

백종태; 허성익; 박영준; 남기수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 백종태 허성익 박영준 남기수

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제13권 1호

발행연도: 1990.7

수록면: 266 - 269 (4page)

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