Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

PLASMA ASSISTED DEPOSITION OF $SiO_2$ FILMS

Falcony ,  C. ,  O 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO₂ 증착의 불균일성 원인 연구

함용현 ,  이현우 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

액상화? 느껴봐~

송병웅

지반(한국지반공학회지)

2005 .01

액상소결로 제조된 삽입제를 사용한 천이액상접합 거동에 관한 연구

권영순 ,  김지순 ,  김환태

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Fe₃O₄ 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화

정지윤 ,  김윤재 ,  정윤교 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

증착 구간에서의 온도 제어에 따른 SiO 초미립자의 증착 특성 고찰

유수종 ,  김교선

산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소

1996 .01

$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성

김성연 ,  함문호 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

펄스 레이저 증착법에 의한 (Pb_0.72La_0.28)Ti_0.93O₃ 박막의 증착

은동석 ,  박정흠 ,  이상렬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

천이액상법을 이용한 합금공구강의 액상접합에 관한 연구 ( A Study on the Diffusion Bonding of Special Tool Steel by using Transient Liquid phase )

양훈모 ,  권병대 ,  김영선 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

1997 .01

활성화 반응성 증착법에 의한 산화인듐 박막의 증착 ( In2O3 thin Film Prepared by Activated Reactive Evaporation )

김도우 ,  최명진 ,  정진원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

화학기상증착법으로 성장시킨 산화티타늄 박막의 특성

정순원 ,  조민재 ,  김광호

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

Investigation of Influence of Deposition Strategies on Thermo-Mechanical Characteristics of Planar Deposition Using a Directed Energy Deposition Process

D. G. Ahn ,  B. L. Chua

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

VCR 헤드 제조시 $SiO_2$박막과 유리의 계면 결함

윤능구 ,  황재웅 ,  고경현 외 3명

한국재료학회지

1994 .01

레이져 CVD에 의한 SiO₂막의 형성기구 모델링에 관한 연구

류지호 ,  소황영 ,  김영훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07