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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1996.1
- 수록면
- 157 - 168 (12page)
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The deposition characteristics of ultrafine $SiO_2$ particles were investigated in a tube furnace reactor theoretically and experimentally controlling tube wall temperature in deposition zone. The model equations such as mass and energy balance equations and aerosol dynamic equations inside reactor and deposition tube were solved to predict the particle growth and deposition. The particle size and deposition efficiencies of $SiO_2$ particles were calculated, changing the process conditions such as tube furnace setting temperature, total gas flow rate inlet $SiCl_4$ concentration and were compared with the experimental results.
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