Application of Modified Rapid Thermal Annealing to Doped Polycrystalline Si Thin Films Towards Low Temperature Si Transistors

So ,  Byung-Soo ,  Kim 외 5명

한국재료학회지

2008 .01

Fabrication of polycrystalline Si films by rapid thermal annealing of amorphous Si film using a poly-Si seed layer grown by vapor-induced crystallization

양용호 ,  안경민 ,  강승모 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Excimer-Laser Annealing for Low-Temperature Poly-Si TFTs

Kim ,  Hyun-Jae

Journal of information display

2003 .01

Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing을 이용한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터에의 응용

김존수 ,  문선홍 ,  양용호 외 2명

한국재료학회지

2014 .01

SiO_x/n⁺-Si/Si(100) quantum well의 특성

김지훈 ,  변정현 ,  유정재 외 3명

Proceedings of KIIT Conference

2011 .05

급속 열처리공정 ( RTA ) 에 의한 a-Si / Ti / a-Si 다층구조의 TiSi2 형성에 관한 연구 ( Titanium Silicide Formation of the a-Si / Ti / a-Si Multilayer by Rapid Thermal Annealing )

윤형섭 ,  진영모 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Deposition of polycrystalline Si thin film on glass substrates by using a direct negative Si ion beam source

김유성 ,  최대한 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

a-Si TFT용, Si $O_{x}$의 저온성장에 관한 연구

정일채 ,  백청아 ,  이주현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

LCD 제작용 급속 열처리 시스템내의 광학 및 열전달 특성

이성혁 ,  김형준 ,  신동훈 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04

Development of Rapid Thermal Processor for Large Glass LTPS Production

Kim ,  Hyoung-June ,  Shin 외 1명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Effect of Substrate Temperature on Polycrystalline Silicon Film Deposited on Al Layer

안경민 ,  강승모 ,  안병태

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

Annealing Behavior of Boron Doped SLS Polycrystalline Silicon

Jung Yoon Lim ,  Won Eui Hong ,  Deok Hoi Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Effective Annealing and Crystallization of Si film for Advanced TFT System

Noguchi ,  Takashi

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Polycrystalline Si Solar Cells with High Efficiency

김상수 ,  김도영 ,  이준신

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

Epitaxial Growth of Boron-doped Si Film using a Thin Large-grained Si Seed Layer for Thin-film Si Solar Cells

Seung Mo Kang ,  Kyung Min Ahn ,  Sun Hong Moon 외 1명

Current Photovoltaic Research

2014 .03

실리콘을 이온주입한 갈륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1987 .01