Development of Rapid Thermal Processor for Large Glass LTPS Production

Kim, Hyoung-June; Shin, Dong-Hoon

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Kim, Hyoung-June (R&D Center, Viatron Technologies Corp.) Shin, Dong-Hoon (R&D Center, Viatron Technologies Corp.)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display

발행연도: 2006.1

수록면: 533 - 536 (4page)

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VIATRON TECHNOLOGIES has developed Field-Enhanced Rapid Thermal Processor (FERTP) system that enables LTPS LCD and AMOLED manufacturers to produce poly-Si films at low cost, high throughput, and high yield. The FE-RTP allows the diverse process options including crystallization, thermal oxidation of gate oxides and fast pre-compactions. The process and equipment compatibility with a-Si TFT lines is able to provide a viable solution to produce poly-Si TFTs using a-Si TFT lines.

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김형준

소속기관 연세대학교 전기전자공학부

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 117 이용수 226

Shin, Dong-Hoon

소속기관 R&D Center, Viatron Technologies Corp.

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 2 이용수 1

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