STI-CMP용 세리아 슬러리 공급시스템에서 거대입자와 필터 크기가 Light Point Defects (LPDs)에 미치는 영향

이명윤 ,  강현구 ,  박진형 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

마찰과 연삭 도정배분에 의한 쌀의 도정특성

김훈 ,  김동철 ,  이세은 외 1명

바이오시스템공학(구 한국농업기계학회지)

2009 .01

Sphere-shaped Ceria Particles for Reducing the Defects in STI CMP Process

김나연 ,  남재도 ,  선한나

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

계면활성제의 농도와 연마제의 크기가 STI 화학적 기계적 연마에 대한 나노 세리아 슬러리의 선택비에 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  박재근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Reduction of Large Particles and Light Point Defects (LPD) by Aging and Selective Sedimentation Process in Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Lee ,  Byong-Seog ,  Kang 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

LPD( Linear Parameter Dependent) System Modeling and Control of Wheeled Mobile Robot

Kang Jin-Shig

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2002 .10

연삭 도정배분에 의한 쌀의 도정 특성

윤두현 ,  김의웅 ,  김창진 외 2명

한국농업기계학회 학술발표논문집

2006 .01

LPD(Linear Parameter Dependent) System Modeling and Control of Mobile Soccer Robot

Jin-Shik Kang ,  Chul Woo Rhim

International Journal of Control Automation and Systems

2003 .06

LPD(Linear Parameter Dependent) System Modeling and Control of Mobile Soccer Robot

Jin-Shik Kang ,  Chul Woo Rhim

International Journal of Control, Automation, and Systems

2003 .06

Estimation of the Power Peaking Factor in a Nuclear Reactor Using Support Vector Machines and Uncertainty Analysis

배인호 ,  나만균 ,  이윤준 외 1명

Nuclear Engineering and Technology

2009 .01

Effect of Organic Additives in Ceria Slurry on Enhanced Oxide-to-Nitride Removal Selectivity in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Lee ,  Byeong-Seog ,  Kang 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

CCSK 변조방식을 사용하는 LPD 시스템을 위한 동기 기법

강동훈 ,  김하은 ,  오왕록

전자공학회논문지

2015 .07

STI-CMP공정에서 슬러리 연마입자가 dishing에 미치는 영향

안진우 ,  임대순 ,  이상익

한국트라이볼로지학회 학술대회

2003 .11

MLS 가스켙 Full-bead의 특성 연구

조성산 ,  한병기 ,  장훈 외 1명

한국자동차공학회 Symposium

2003 .05

Chemical milling

이종남

대한기계학회지

1979 .10

Reproducible Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Shallow Trench Isolation Structure using High Selectivity Slurry

So-young-Jeong ,  Yong-JinSeo ,  Sang-YongKim

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

STI CMP용 가공종점 검출기술에서 나노 세리아 슬러리 특성이 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  김민석 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

MPEG-D USAC : LPD 복호화기의 고정 소수점 알고리즘 구현

송은우 ,  송정욱 ,  강홍구

한국방송미디어공학회 학술발표대회 논문집

2012 .07

탄소 나노튜브의 볼밀링 시 구조 변화

남혜림 ,  안중호

한국분말야금학회지

2013 .01

기계화학적 연마를 이용한 트렌치 구조의 산화막 평탄화

김상용 ,  서용진 ,  김철복

전기전자재료학회논문지

2002 .01