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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정찬교 (수원대학교) 구희준 (수원대학교)
저널정보
한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제3권 제2호
발행연도
1997.12
수록면
57 - 73 (17page)

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목차

요약
1. 세정공정의 특성
2. 대체세정제의 개발
3. 세정공정의 청정기술 적용사례 연구
4. 종합적인 결과분석을 통한 기대효과
5. 결론
감사의 글
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