Al₂O₃/HfO₂ Moisture Barrier Films on Polymer Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in $Al_2O_3-HfO_2$ Thin Films

정회성 ,  김지헤 ,  강상원

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

산소 플라즈마를 이용하여 원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 형성된 하프늄 옥사이드 게이트 절연막의 특성 연구

조승찬 ,  전형탁 ,  김양도

한국재료학회지

2007 .01

Low Temperature Preparation of Hafnium Oxide Thin Film for OTFT by Atomic Layer Deposition

최운섭

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

Al₂O₃/HfO₂ Thin Film Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Quantum-Dot Light Emitting Diode Encapsulation

Lae Ho Kim ,  Yong Jin Jeong ,  Jisu Hong 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Low Temperature HfO₂ Thin Film Encapsulation for Organic Light-Emitting Diodes Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .10

Electrical and Structural Properties of Lanthanum Hafnium Oxide (LHO) Films Deposited by ECR Atomic Layer Deposition

Sang-Kyun Pa ,  k ,  Woong-Sun Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

Influence of the O/Al ratio on the properties of Al₂O₃ barrier layers deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition

이종걸 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .10

Low-Temperature Growth of SiO2 Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Jung Wook Lim ,  Sun Jin Yun ,  Jin Ho Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .02

Significant Reduction of Leakage Currents for HfO2-based MOS Capacitor through Doping Dy by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

Jae-Seung Lee ,  Il-kwon Oh ,  Kyung Ho Lee 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

비휘발성 메모리 응용을 위한 ALD법을 이용한 HfO₂ 절연막의 특성

정순원 ,  구경완

전기학회논문지

2010 .08

플라즈마 원자막 증착기를 이용한 지르코니아 박막 증착 및 특성 평가

조구영 ,  차석원 ,  노승탁 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

ALD법으로 성장한 HfO 박막의 열처리에 따른 특성변화

이재웅 ,  함문호 ,  맹완주 외 2명

한국재료학회지

2007 .01

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

Titanium Nitride Thin Films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition as Bipolar Plate for Proton Exchange Membrane Fuel Cell

Woojae Lee ,  Eun-young Yun ,  So-won Pa 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

ALD방법으로 성장된 HfO₂/Hf/Si 박막의 전기적 특성

이대갑 ,  도승우 ,  이재성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2006 .06

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07