비휘발성 메모리 응용을 위한 ALD법을 이용한 HfO₂ 절연막의 특성

정순원 ,  구경완

전기학회논문지

2010 .08

ALD법으로 성장한 HfO 박막의 열처리에 따른 특성변화

이재웅 ,  함문호 ,  맹완주 외 2명

한국재료학회지

2007 .01

Al₂O₃/HfO₂ Moisture Barrier Films on Polymer Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

ALD 방법으로 Si(100) 기판에 증착한 $HfO_2$ 게이트 유전박막의 특성

김좌연 ,  이희환 ,  채상훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

ALD방법으로 증착한 $HfO_2$ 박막의 성장기구와 전기적 성질에 관한 고찰

조문주 ,  박재후 ,  박병건 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

ALD방법으로 성장된 HfO₂/Hf/Si 박막의 전기적 특성

이대갑 ,  도승우 ,  이재성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2006 .06

플래쉬 메모리 응용을 위한 Al₂O₃/HfO₂/Al₂O₃ 복합막 구조의 전기적 특성 분석

이영복 ,  문평 ,  임준영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2014 .06

New HFO-Based Option(HFO기반의 다양한 냉매 옵션)

윤린

설비저널

2011 .04

ALD 방법으로 증착된 HfO₂/Hf 박막을 게이트 절연막으로 사용한 MOS 커패시터 제조

이대갑 ,  도승우 ,  이재성 외 1명

전자공학회논문지-SD

2007 .05

Proximity-Scan ALD (PS-ALD) 에 의한 AlO와 HfO 박막증착 기술 및 박막의 전기적 특성

권용수 ,  이미영 ,  오재응

한국재료학회지

2008 .01

HfO₂ 박막 특성에 대한 주성분 분석을 이용한 신경망 모델링

고영돈 ,  이정환 ,  함문호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

ALD법으로 성장시킨 Al₂O₃ 박막의 특성분석

성석제 ,  김동진 ,  배영호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Al₂O₃/HfO₂ Thin Film Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Quantum-Dot Light Emitting Diode Encapsulation

Lae Ho Kim ,  Yong Jin Jeong ,  Jisu Hong 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

저전력 휴대용 통신단말을 위한 이온빔 처리된 HfO2 박막의특성 연구

김원배 ,  이호영

한국위성정보통신학회논문지

2015 .01

Gate 박막용 $HfO_2$ 박막의 증착과 분석

박재후 ,  박병건 ,  조문주 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Gate 산화막으로 $HfO_2$ 박막을 이용하여 제작한 NFET 특성 고찰

박재후 ,  조문주 ,  박홍배 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Low Temperature HfO₂ Thin Film Encapsulation for Organic Light-Emitting Diodes Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .10

Al₂O₃-HfO₂-Al₂O₃와 SiO₂-HfO₂-SiO₂ 샌드위치 구조 MIM 캐패시터의 DC, AC Stress에 따른 특성 분석

곽호영 ,  이희덕 ,  권혁민 외 6명

전기전자재료학회논문지

2011 .01