Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구

권오진 ,  최성주 ,  이우영 외 2명

한국반도체장비학회지

2003 .01

로봇 End-Effector에 의해 파지되는 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘 구현

권오진 ,  최성주 ,  조현찬

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2001 .12

클린튜브 시스템의 웨이퍼 운동 제어

신동헌 ,  최철환 ,  정규식

설비공학논문집

2004 .05

Robot End Effector용 Force-Torque 센서 개발에 관한 연구 ( A Study on the Development of Force-Torque Sensor for Robot End Effector )

허훈 ,  장완식 ,  김재명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Robot End Effector 용 Force-Torque 센서 개발에 관한 연구

허훈 ,  장완식 ,  김재명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

반송 시 웨이퍼 이탈을 최소화 하기 위한 새로운 형태의 웨이퍼 가이드 메커니즘

김대원 ,  유지환

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

Single Post 웨이퍼 로봇의 기구학 분석 및 동역학 해석

김병수 ,  김진대 ,  조지승 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2011 .05

차세대 300mm Wafer 반송 시스템

조상준

공기청정기술

2001 .01

Wafer Position Recognition in Wafer Cleaning Equipment

Joon Jae Lee

한국멀티미디어학회 국제학술대회

2009 .08

End-Effector를 이용한 실시간 동작전이

김종목 ,  정문렬

한국정보과학회 학술발표논문집

2001 .02

GaAs Wafer 접합용 본딩시스템 개발

송준엽 ,  강재훈 ,  이창우 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

Wafer-Scale CSP USING WAFER SCALE ASSEMBLY TECHNOLOGY

Kang ,  D.B. ,  Yoon 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Polished Wafer와 Epi-Layer Wafer의 표면 처리에 따른 표면 화학적/물리적 특성

김진서 ,  서형탁

한국재료학회지

2014 .01