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저자정보
진상훈 (한국생산기술연구원) 이동열 (한국생산기술연구원) 조유근 (한국생산기술연구원) 이운영 (한국생산기술연구원) 이민형 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019년도 한국표면공학회 춘계학술대회 및 특별강습회
발행연도
2019.5
수록면
43 - 43 (1page)

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2019

고종횡비 실리콘 관통전극에서의 무결함 충전에 대한 연구
진상훈 ,  이동열 ,  조유근 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019.05 학술대회자료

2015

고종횡비의 실리콘 관통전극에서 유기첨가제에 따른 충전 특성에 대한 연구
진상훈 ,  이동열 ,  이운영 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015.11 학술대회자료

2014

전해 및 무전해 도금공정을 이용한 고종횡비 실리콘 관통전극의 씨앗층 보강 공정 특성 비교
진상훈 ,  이동열 ,  이운영 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2014.05 학술대회자료

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