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마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
고종횡비의 실리콘 관통전극에서 유기첨가제에 따른 충전 특성에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
고종횡비 실리콘 관통전극에서의 무결함 충전에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
수치 모델을 이용한 TSV 스퍼터링 장비의 특성 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
RF 플라즈마 처리 및 고출력 펄스형 마그네트론 스퍼터링을 이용한 고 접합 시드층 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
반도체용 마그네트론 스퍼터링 음극 전산 모사 소프트웨어 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
마그네트론 스퍼터링을 이용한 반응성 나노 포일의 제조 공정 최적화 및 산업적 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
A Study on the Cobalt Electrodeposition of High Aspect Ratio Through-Silicon-Via (TSV) with Single Additive
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
RF 플라즈마 처리 및 고출력 펄스형 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Cr-free 고 접합 시드층 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
3차원 적층을 위한 실리콘 관통 비아 충진 기술 연구
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2017 .11
직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구
비파괴검사학회지
2018 .10
마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박막의 투명전극 적용성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
다층 박막 스퍼터링 장비의 제어시스템에 관한 연구
전기전자학회논문지
2018 .06
스퍼터링 공정의 아크 저감방법
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .11
마그네트론 스퍼터링 효율 향상을 위한 시뮬레이션 기반 자기장 설계
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2017 .04
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