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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.11
- 수록면
- 495 - 500 (6page)
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원자층 증착법(ALD: atomic layer deposition)을 이용하여 PES (poly (ether sulfon)) 기판위에 증착 온도, 플라즈마 파워에 따라 Al₂O₃와 TiO₂ 박막을 증착했다. 공정 조건에 따라 Al₂O₃와 TiO₂ 박막의 밀도, 탄소의 함유량이 달라지는 것을 알 수 있었으며, 공정 조건을 변화시켜 고밀도의 박막을 얻을 수 있었다. 플라즈마에 의한 PES 기판 손상을 막기 위해 buffer layer를 도입했으며, 또한 박막 내부 결함에 의한 수분 투과를 지연 또는 막기 위해 다층 구조를 증착했다. 이를 분석하기 위해 MOCON test를 이용해 투습률을 조사하였다. 플라스틱 기판에 다층 구조의 무기물 보호막을 적용했을 시 플라스틱 기판의 투습률 특성이 개선되었으며, 수분 투과에 대한 activation energy 또한 증가하는 것을 알 수 있었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (12)
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1. [학술지(정기간행물)] - G. Dennler / 2006 / / Thin Solid Films 511 : 349 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 박일흥 / 2008 / 폴리이미드 패시베이션과 폴리비닐알콜 패시베이션 레이어 성막이 고성능 유기박막 트렌지스터에 주는 영향 / 한국진공학회지 17 (3) : 195 ~ 198
3. [학술지(정기간행물)] - T.N. Chen / 2006 / / J. Electrochem. Soc. 153 : F244 ~
4. [학술지(정기간행물)] - S.M. Park / 2008 / / J. Vac. Sci. Technol. A 26 : 949 ~
5. [학술지(정기간행물)] - A. G. Erlat / 2004 / / J. Phys. Chem. B 108 : 883 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 박일흥 / 2008 / 폴리이미드 패시베이션과 폴리비닐알콜 패시베이션 레이어 성막이 고성능 유기박막 트렌지스터에 주는 영향 / 한국진공학회지 17 (3) : 195 ~ 198
3. [학술지(정기간행물)] - T.N. Chen / 2006 / / J. Electrochem. Soc. 153 : F244 ~
4. [학술지(정기간행물)] - S.M. Park / 2008 / / J. Vac. Sci. Technol. A 26 : 949 ~
5. [학술지(정기간행물)] - A. G. Erlat / 2004 / / J. Phys. Chem. B 108 : 883 ~
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