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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.5
- 수록면
- 195 - 198 (4page)
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이 논문에서 무기 게이트 인슐레이터 위에 Polyimide 유기 점착층을 성형하여, 고성능의 유기 박막 트렌지스터(OTFT)소자를 제작한 후 450 ㎚ 두께로 폴리이미드를 Vapor deposition polymerization (VDP)방법을 사용하여 패시베이션하였다. 이때 폴리이미드성막을 위해, 스핀코팅 방법 대신 VDP 방법 도입하였다. 이 폴리이미드 고분자막은 2,2 bis(3,4-dicarboxyphenyl)hexafluoropropane dianhydride (6FDA)와 4,4’-oxydianiline(ODA)을 고진공에서 동시에 열증착 시킨 후, 170 ℃에서 2시간 열처리하여 고분자화 된 막을 형성하였다. 다른 종류의 유기 패시베이션 막이 소자에 주는 영향을 비교 분석하기 위해, 450 ㎚ 두께로 스핀코팅법을 이용하여 폴리비닐알콜 패시베이션 막을 형성하였다. 이 두 가지 패시베이션 막 형성법이 소자의 문턱전압과, 전하이동도에 주는 영향을 전기적 특성을 통해 변화를 확실히 볼 수 있었다. 최초 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성은 문턱전압, 점멸비, 그리고 정공의 이동도는 각각, -3 V, 약 10? 그리고, 0.24 ㎠/Vs 이 측정되었고, 폴리이미드를 사용하여 패시베이션 후 특성이 각각 0V, 약 10? 그리고, 0.26 ㎠/Vs, 폴리비닐알콜 패시베이션 경우는 특성이 각각, 문턱전압의 경우 0V에서 +2V로, 점멸비는 10?에서 10?으로 전계효과이동도는 0.13 ㎠/Vs에서 0.13 ㎠/Vs로 변화하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. H. Na / 2007 / Appl. Phys / Lett 90 (163514)
2. [학술지(정기간행물)] - W. H. Lee / 2007 / Appl. Phys / Lett 90 (132106)
3. [기타자료] - J. H. Shim / 2003 / Thin solid Film 441
4. [기타자료] - Y. S. Yang / 2006 / Journal of the Korean Vacuum Society 15
5. [학술지(정기간행물)] - S. W. Pyo / 2005 / Jpn. J. Appl / Phys 44 (652)
2. [학술지(정기간행물)] - W. H. Lee / 2007 / Appl. Phys / Lett 90 (132106)
3. [기타자료] - J. H. Shim / 2003 / Thin solid Film 441
4. [기타자료] - Y. S. Yang / 2006 / Journal of the Korean Vacuum Society 15
5. [학술지(정기간행물)] - S. W. Pyo / 2005 / Jpn. J. Appl / Phys 44 (652)
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