원자층 증착법을 이용한 Al₂O₃/TiO₂ 보호막의 수분 보호 특성

권태석 ,  문연건 ,  김웅선 외 6명

Applied Science and Convergence Technology

2010 .11

Characteristics of Al₂O₃/TiO₂ multi-layers as moisture permeation barriers deposited on PES substrates using ECR-ALD

권태석 ,  문연건 ,  김웅선 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Inorganic Thin Film Passivation Layer Fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Bum-Hee Lee ,  Dong-Hee Pa ,  k 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

ALD를 이용하여 살펴본 CdSe/CdS Quantum Dot-sensitized Solar Cell에서의 TiO2 Passivation 효과

박진주 ,  이승협 ,  설민수 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Surface passivation by atomic layer deposited Al₂O₃

SHUXIN WANG ,  Kang-Hun Jo ,  Hyung Sang Pa 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Influence of KOH Solution on the Passivation of Al2O3 Grown by Atomic Layer Depostion on Silicon Solar Cell

조영준 ,  장효식

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Fabrication of Noble Organic-Inorganic Thin Film for Passivation Layer by Molecular Layer Deposition

정진원 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Effects of Fe Ions Substitution on the Structure and Magnetic Properties of Ba_0.95Bi_0.05TiO₃

W. Yansen ,  J. Kim ,  B. W. Lee

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2011 .06

Effects of Annealing of Al2O3 Layer on Passivation Properties by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition

송세영 ,  장효식 ,  송희은

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

CdSe/CdS QDSSC에서 TiO₂ 증착 효과

박진주 ,  이승협 ,  설민수 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Improvement in the Negative Bias Stability on the Water Vapor Permeation Barriers on ZnO-based Thin Film Transistors

한동석 ,  신새영 ,  김웅선 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Enhanced silicon surface passivation of atomic layer deposited Al₂O₃ films with surface treatment

Ham Cho Rom Cha ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Role of a passivation layer in superconformal copper gap-fill by chemical vapor deposition

문학기 ,  김선일 ,  박영록 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

SURFACE PASSIVATION AND ANNEALING EFFECT

현지연 ,  배수현 ,  이창현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Effect of annealing temperature on Al2O3 layer for the passivation of crystalline silicon solar cell

Yoon Chung Nam ,  Kyung Dong Lee ,  JaeEun Kim 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Comparing the Passivation Quality of Ozone and H2O Oxidant of Atomic Layer Deposited Al2O3 by Post-annealing in N2 and Forming Gas Ambients for Passivated Emitter and Rear Cell (PERC)

Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

최적화 된 SiO₂ / SiONx stack passivation layer의 특성 분석 및 고효율 N-type c-Si 태양전지 적용에 관한 연구

박수영 ,  전민한 ,  강지윤 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Al, Al - 1%Si, Ag, Cu 박막금속화에서의 SiO₂ Passivation 효과.

김대일 ,  김진영

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

SiN_x double layer for improved thermal stability on rear passivation layer for n-type c-Si solar cell

Sanguk HAN ,  Minhan JEON ,  Jiyoon KANG 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08