전구체 노출 시간을 조절하는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

신웅철 ,  류상욱 ,  성낙진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

원자층증착법을 이용한 Y2O3 박막 형성 및 저항 스위칭 특성

정용찬 ,  성세종 ,  이명완 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 ZrO₂ 박막의 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

신웅철 ,  류상욱 ,  성낙진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰

정민지

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 Al₂O₃와 ZrO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 ,  임정욱 ,  이진호

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개

최규정 ,  신웅철

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Thin Films for Environmental Application and Energy Devices

Young Dok Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  한창희 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .12

PEALD과 ALD을 이용한 다공성 기판의 증착 특성 비교

강고루 ,  차덕준 ,  김진태 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition

김세준 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

[특별세션: 다기능성 나노박막 및 제조 공정] 원자/나노 복합구조 제어에 의한 다기능성 전자저항막 기술

신유리 ,  곽원섭 ,  권세훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Fabrication of Conductive ZnO Thin Filn Using UV-Enhanced Atomic Layer Deposition

양다솜 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

다양한 섬유 위에서 원자층 증착법으로 증착된 백금의 표면 반응 메커니즘 연구

박종서 ,  오일권 ,  한태희 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

FT-IR을 이용한 TaCN 박막의 원자층 기상증착공정 (Atomic vapor deposition) 진단 및 반응메커니즘 연구

김석훈 ,  이시우

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

원자층 증착법을 이용한 Al₂O₃/TiO₂ 보호막의 수분 보호 특성

권태석 ,  문연건 ,  김웅선 외 6명

Applied Science and Convergence Technology

2010 .11

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Application of Atomic Layer Deposition to Solid Oxide Fuel Cells Based on Nanoscale Electrode Modification

Jiwon Oh ,  Heesu Hwang ,  Seungmuk Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08