Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 ZrO₂ 박막의 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

신웅철 ,  류상욱 ,  성낙진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Characterization of the Interface & ZrO₂ film fabricated by Atomic Layer Deposition method

박윤백 ,  연태원 ,  최민기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 을 이용한 TiO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

이원규 ,  우성일

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰

정민지

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

금속 기판 위에 증착된 Al2O3-ZrO2 박막의 내마모 특성 연구

오지용 ,  이창현 ,  장부성 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

나노 구조 응용을 위한 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

신웅철 ,  최규정 ,  류상욱 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

PEALD과 ALD을 이용한 다공성 기판의 증착 특성 비교

강고루 ,  차덕준 ,  김진태 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

전구체 노출 시간을 조절하는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

신웅철 ,  류상욱 ,  성낙진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

원자층증착법을 이용한 Y2O3 박막 형성 및 저항 스위칭 특성

정용찬 ,  성세종 ,  이명완 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Atomic Layer Deposition에 의해 제조된 Cobalt Oxide 박막의 특성

김재경 ,  최규하 ,  박광민 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Pre - deposition과 Layer - by - Layer 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성 연구

권대진 ,  송병권 ,  남창우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Characteristic analysis of HfO2 thin films deposited at low-temperature using direct plasma-enhanced atomic layer deposition

김경문 ,  윤순길 ,  정낙관

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Effects of Annealing of Al2O3 Layer on Passivation Properties by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition

송세영 ,  장효식 ,  송희은

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Electrical characteristics of multi-stacked ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ capacitors

Gaeun Lee ,  Byoungdeog Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber

김호준 ,  이승무 ,  원제형

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Study of SrTiO₃ for Dielectric Thin Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

임찬중 ,  임동혁 ,  마진원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

커패시터에의 적용을 위해 PET 필름에 스퍼터 증착한 ZrO₂ 박막의 특성

권능 ,  Chen Fei ,  류한 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02