메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제6호
발행연도
2009.11
수록면
411 - 417 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

첨단공정용 드라이펌프 유량 측정 한계 향상기술 개발
신진현 ,  고문규 ,  정완섭 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 2009.11 학술저널
첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발
신진현 ,  강상백 ,  임종연 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
차세대 반도체 및 디스플레이 산업용 드라이펌프의 배기속도를 평가하기 위해 최소부피 22 L 급의 정적형 유량계를 설계/제작하였다. 정적형 유량계의 기본 평가항목인 base pressure와 leak rate 측정결과 각각 6×10<SUP>-8</SUP> mbar 와 1.5×10<SUP>-6</SUP> mbar-L/s 로 측정되었고 throughput limit의 경우 기존 875 L 급보다 1 order 낮은 1×10<SUP>-3</SUP> mbar-L/s 영역까지 확대되었음이 확인되었다. 구축된 시스템을 이용해 배기용량이 적은 최신 공정 드라이 펌프까지도 배기속도 값을 정확히 측정할 수 있으며, 구축비용이 높은 정압형 유량계를 어느 정도 대체할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
#드라이 펌프 #정적형 유량계 #배기 속도 #MFC #유량 #Dry pump #CVFM #Pumping speed #Throughput

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험결과
Ⅳ. 결론 및 고찰
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [단행본] - 배석희 / 2000 / 진공공학 / 한국경제신문 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 노명근 / 2008 / 스크류 형 건식진공펌프 기술 현황 및 응용 / 한국진공학회지 17 (4) : 292 ~ 301 dbpia 3. [기타자료] - ISO/CD 1607 / / Positive displacement pumps- measurement of performance characteristics google schola 4. [기타자료] - ISO/CD 5607 / / Vacuum technology-vacuum pump- roots blowers acceptance specifications google schola 5. [기타자료] - ISO/DIS 21360 / / Vacuum technology-standard methods for measuring vacuum-pump performance General description google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001272243