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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제1호
발행연도
2001.4
수록면
1 - 8 (8page)

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터보분자펌프의 배기성능은 회전자가 돌고 있을 때 순방향과 역방향으로의 배기속도(통과확률×입구 컨덕턴스)및 두 방향으로의 기체 유량(배기속도×입구 압력)의 상호관계에 의해 영향을 받는다. 펌프의 성능을 나타내는 가장 중요한 항목인 배기속도는 순유량, 즉 반대 방향으로의 유량의 차이를 흡기구 압력으로 나누어준 것이며, 최대압축비는 순방향 배기속도를 역방향 배기속도로 나누어준 것이다. 이들 방향성 고유특성은 서로 영향을 미치고 있으며 양쪽 입구 압력 모두의 함수이므로 관련 요소들을 서로 구분하기가 힘들지만 배기 속도와 최대압축비의 측정결과를 잘 분석하면 준정량적인 해석이 가능하다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 터보분자펌프의 배기 원리

3. 성능시험

4. TMP 배기특성에 관한 고찰

5. 결론

참고문헌

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