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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
인상렬 (한국원자력연구원)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제6호
발행연도
2011.11
수록면
387 - 394 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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진공펌프의 운전성능을 나타내는 가장 중요한 지표 중의 하나인 배기속도 측정에 관해서는 많은 연구를 통해 정립된 이론에 따라 표준장치와 측정절차에 대한 규격이 만들어지고 널리 활용되고 있다. 그러나 실제 펌프 배기속도 측정 시 이상적인 조건에 비해 변형이 불가피할 때가 있고 그 영향을 간과하면 큰 측정오차를 유발할 수 있다. 본 논문에서는 배기속도를 측정하기 위한 이상적인 또는 실용적인 다양한 방안들이 가지는 물리적 특징과 구조적 오차에 대해 분석하고 보정 식들을 제시했다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 배기속도 측정
Ⅲ. 결론
감사의 글
참고문헌

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