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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
신진현 (한국표준과학연구원) 강상백 (한국표준과학연구원) 박경암 (한국표준과학연구원) 임종연 (한국표준과학연구원) 정완섭 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제4호
발행연도
2010.7
수록면
243 - 248 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

정적형 유량계를 이용한 소닉노즐의 유출계수 교정 방법에 관한 연구
신진현 ,  강상백 ,  고문규 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
정적형 유량계를 이용한 소닉노즐 유출계수 교정 방법에 관한 연구
신진현 ,  강상백 ,  박경암 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2010.07 학술저널

초록· 키워드

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진공용 기체 유동측정 표준기로 사용하고자 소닉노즐을 ISO 9300에서 제시한 사양에 맞추어 목직경 0.03 ㎜와 0.2 ㎜의 소닉 노즐을 제작하였다. 한국표준과학연구원에서 진공용 유량측정 장치로 개발된 정적형 유량계를 이용하여 제작된 2종의 소닉노즐의 유출계수를 확장불확도 3% 이내로 교정하였다. 교정된 소닉노즐의 유량 측정범위는 약 0.6∼1,800 ㏄/min 범위를 갖는 것으로 나타났으며, 사용유동 조건에 해당되는 레이놀드 수(Reynolds number) 범위는 26∼12,100으로 확인되었다. 이러한 결과는 교정된 소닉노즐을 이용하여 진공공정에서 필요한 극 미세 유량의 정밀측정을 가능하게 한 새로운 연구결과로 판단된다. 교정된 소닉노즐을 이용하여 진공펌프의 배기속도 측정결과는 기 구축된 정적법을 이용한 배기속도 측정결과와 1% 이내의 오차범위내로 매우 잘 일치함을 보였다. 교정된 소닉노즐은 향후 반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 다양한 건식 진공펌프들의 배기속도를 현장에서 간단하게 평가할 수 있는 현장 성능평가 장치에 활용할 예정이며, 현재 공정현장에서 배기속도 측정에 널리 사용중인 MFC를 대체할 수 있을 것으로 예상된다.
#정적형 유량계 #소닉노즐 #진공펌프 #배기속도 #CVFM #Sonic nozzle #Vacuum pump #Pumping speed

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 정적형 유량계
Ⅲ. 소닉노즐 유출계수 교정
Ⅳ. 진공펌프 배기속도 측정
Ⅴ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 2005 / Low Vacuum Generation and Control on BIEN Technology: Mass Flow and Dry Pumping Characteristics / Key Engineering Material 277 : 1000 ~ 1015 google schola 2. [기타자료] - / / ISO 9300: Measurement of gas flow by means of critical flow venturi nozzles, (1990) google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 2000 / 음속노즐의 임계 압력비에 대한 저 레이놀즈 수의 영향 / 대한기계학회논문집 24 : 1535 ~ 1539 google schola 4. [단행본] - 배석희 / 2000 / 진공공학 / 한국경제신문 google schola 5. [기타자료] - / / 한국표준과학연구원 교정 절차서, 상압가스 유량측정 표준시스템-벨 푸루버, C-10-4-0090-2002 google schola

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