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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제4호
발행연도
1995.12
수록면
343 - 349 (7page)

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게데형 분자드래그펌프의 배기특성을 강구 (hard sphere) 분자모델과 NTC(No Time Counter) 충돌 scheme을 이용한 직접모사 법의 하나인 DSMC(direct simulation Monte Carlo) 방법을 이용하여 해석하였다. 해석에 사용된 모델은 높이가 일정하고, 길이가 높이의 1~3000배 사이인 이차원 채널이다. 자유분자영역으로부터 연속체 영역까지의 영역에서 최대압축비와 배기속도를 계산하였다. 계산결과 기존의 최대압축비 이론 결과는 채널내의 압력변화가 클 때는 큰 오차를 유발하는 것을 알 수 있었고, 유동방향의 기체분자의 통과확률은 채널 길이와 출구압력에 관계없이 거의 일정한 값을 갖는다는 것을 발견하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 분자드래그펌프 해석이론

3. 연구방법

4. 결과 및 고찰

5. 결론

참고문헌

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