이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성 개선

김정선 ,  여환욱 ,  박종윤

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

Low vacuum Pump의 감압법(Pumping down method)에 의한 배기속도 측정 Practice

신진현 ,  강상백 ,  임종연 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Ion Pump Design for Improved Pumping Speed at Low Pressure

Chia ,  a Paolinia ,  Mau 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2016 .11

터보분자펌프 역류특성의 준정량적 평가

인상렬 ,  박미영

Applied Science and Convergence Technology

2001 .04

상용 크라이오펌프의 배기특성 분석

인상렬 ,  박미영

Applied Science and Convergence Technology

2003 .06

Ion pump design for improved pumping speed at low pressure

Chia ,  a PAOLINI ,  Mau 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

크라이오펌프 알곤 배기용량 기준에 대한 고찰

이동주 ,  한명희 ,  인상렬

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

벌집형 셀 구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석

하태균 ,  안병남 ,  이득진 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .09

상용 크라이오 펌프의 기체별 배기 특성 조사

박미영 ,  인상렬

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Compact Ion Pump 개발에 관한 연구

이재희 ,  김용희 ,  김말식

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Hydrogen pumping performance of cryopumps at high charcoal temperatures

인상렬 ,  이동주 ,  한명희

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

고진공펌프 배기속도 측정

박종도 ,  김세현 ,  홍만수 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석

유병윤 ,  박재환 ,  빈석민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

보조펌프(backing pump)의 배기용량에 따른 터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 연구

김완중 ,  강상백 ,  고문규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

적응형 인자모델과 배기속도지표를 이용한 건식 전공펌프 시스템의 실시간 상태진단

이규호 ,  이수갑 ,  임종연 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

진공펌프 배기속도 측정방식에 따른 구조적 오차 및 보정

인상렬

Applied Science and Convergence Technology

2011 .11

The transient sputtering yield change of an amorphous Si layer by low energy O₂+ and Ar+ ion bombardment

Hye Chung Shin ,  Hee Jae Kang ,  Hyung Ik Lee 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .10

Topographic Development on Ion Beam Sputtered Surfaces.

문대원 ,  김경중 ,  K.Yoshiha 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Composition Depth Profiling of Fe/Ni and Pt/Co Multilayers Using a Buckminsterfullerene (C₆₀) Ion

K. J. Kim ,  D. W. Moon ,  P. Chi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08