Low vacuum Pump의 감압법(Pumping down method)에 의한 배기속도 측정 Practice

신진현; 강상백; 임종연; 정완섭

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신진현 (건양대학교) 강상백 (군산대학교) 임종연 (한국표준과학연구원) 정완섭 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 210 - 210 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003923275

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