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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호
발행연도
1999.8
수록면
353 - 360 (8page)

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시간 변화를 고려한 출력 및 입자의 전체 균형 모델(global balance model)을 적용하여 헬리콘 플라즈마에서의 전자 밀도 및 온도와 중성 밀도의 시간에 따른 변화를 연구하였다. 출력 흡수량은 맥쓰웰 방정식으로 부터 계산하여 균형 방정식에 이용하였으며, 플라즈마 변수와 출력 흡수 및 손실을 self-consistent하게 구하였다. 계산 결과를 이용하여 헬리콘 플라즈마에서 관찰되는 이온 펌핑 효과와 펄스 방전에서 나다나는 두가지 방전 모드의 존재를 설명하였으며, 중성 기체의 유량, 압력 등이 플라즈마 변수 변화에 미치는 효과를 분석하였다. 그리고 낮은 압력에서 전자 밀도는 자기장에 관계없이 중성 밀도에 좌우되나, 이온 펌핑 효과가 무시될 수 있는 압력 이상에서는 전자 밀도가 자기장이 커짐에 따라 증가하는 결과를 얻었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 지배방정식

3. 결과 및 논의

4. 결론

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