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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
207 - 208 (2page)

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헬리콘 플라즈마 장치에서 가스 인입구의 위치를 변화시키면서 플라즈마 특성의 변화를 관측이며, 이러한 변화의 원인을 밝히기 위해 공간 분해가 가능한 발광 스펙트럼 분석을 통하여 공간적인 RF 전력의 흡수 ... 전체 초록 보기

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