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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제17권 제3호
- 발행연도
- 2016.1
- 수록면
- 146 - 149 (4page)
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The CrN/TiN/Al thin films for solar selective absorber were prepared by dc reactive magnetron sputtering with multitargets. The binary nitride CrN layer deposited with change in N2 gas flow rates. The gas mixture of Ar and N2 was animportant parameter during sputtering deposition because the metal volume fraction (MVF) was controlled by theN2 gas flow rate. In this study, the crystallinity and surface properties of the CrN/TiN/Al thin films were estimated byX-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM) and field emission scanning electron microscopy (FESEM).
The composition and depth profile of thin films were investigated using Auger electron spectroscopy (AES). Theabsorptance and reflectance with wavelength spectrum were recorded by UV-Vis-NIR spectrophotometry at a rangeof 300~1,100 nm.
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참고문헌 (16)
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I. T. Ritchie / 1977 / Applications of thin graded-index films to solar absorbers / Applied Optics 16(5):1438
S. Esposito / 2009 / Fabrication and optimisation of highly efficient cermet-based spectrally selective coatings for high operating temperature / Thin Solid Films 517(21):6000~6006
Rei-Cheng Juang / 2010 / Preparation of solar selective absorbing coatings by magnetron sputtering from a single stainless steel target / Thin Solid Films 518(19):5501~5504
Harish C. Barshilia / 2014 / Growth, characterization and performance evaluation of Ti/AlTiN/AlTiON/AlTiO high temperature spectrally selective coatings for solar thermal power applications / Solar Energy Materials and Solar Cells 130:322~330
엄태인 / 2013 / 흑색 황산3가크롬을 이용한 태양열 흡열판 선택흡수막 도금기술 / 한국태양에너지학회 논문집 33(3):27~35
S. Esposito / 2009 / Fabrication and optimisation of highly efficient cermet-based spectrally selective coatings for high operating temperature / Thin Solid Films 517(21):6000~6006
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Harish C. Barshilia / 2014 / Growth, characterization and performance evaluation of Ti/AlTiN/AlTiON/AlTiO high temperature spectrally selective coatings for solar thermal power applications / Solar Energy Materials and Solar Cells 130:322~330
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