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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제16권 제5호
발행연도
2015.1
수록면
280 - 284 (5page)

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Among many the oxynitrides, TiNO and AlCrNO, have diverse applications in different technological fields. We prepared TiNO/AlCrNO/Al thin films on aluminum substrates using the method of dc reactive magnetron sputtering. The reactive gas flow, gas mixture, and target potential were applied as the sputtering conditions during the deposition in order to control the chemical composition. The multi-layer films have been prepared in an Ar and O2+N2 gas mixture rate. The surface properties were estimated by performing scanning electron microscopy (SEM). At a wavelength range of 0.3~2.5 μm, the exact composition and optical properties of thin films were measured by Auger electron spectroscopy (AES) and Ultraviolet-visible-near infrared (UV-Vis-NIR) spectrophotometry. The optimal absorptance of multi-layer films was exhibited above 95.5% in the visible region of the electromagnetic spectrum, and the reflectance was achieved below 1.89%.
#DC magnetron sputter #Multi-layer #Optical properties #Absorptance #Reflectance

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A SHASHIKALA / 2007 / Solar selective black nickel?cobalt coatings on aluminum alloys / Solar Energy Materials and Solar Cells 91 (7) : 629 ~ 635 google schola C. E. Kennedy / 2002 / NREL Technical Report No. NREL/LP-520-31267 google schola D. H. Oh / 2014 / / J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng 12 : 820 ~ google schola E Barrera / 2003 / Synthesis of cobalt?silicon oxide thin films / Solar Energy Materials and Solar Cells 76 (3) : 387 ~ 398 google schola Harish C. Barshilia / 2006 / A comparative study of reactive direct current magnetron sputtered CrAlN and CrN coatings / Surface and Coatings Technology 201 (6) : 2193 ~ 220 google schola

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