Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering

Gil Su Jang ,  Du Yun Kim ,  Nong-Moon Hwang

Electronic Materials Letters

2021 .01

Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성

문혜수 ,  유현지 ,  박인규 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Strengthened Sputter Deposited Aluminum-Carbon Alloy Thin Films

Injong Oh ,  Hojang Kim ,  Hyunjoo Choi 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .06

스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

오일권 ,  윤창모 ,  장진욱 외 1명

한국재료학회지

2016 .01

Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성

조계영 ,  이다은 ,  강보성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Revisitation of the structure zone model of sputter-deposited thin films

Eiji Kusano

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향

이상운 ,  신동혁 ,  손영국 외 2명

Current Photovoltaic Research

2020 .03

투명전도성 박막의 활용을 위한 스퍼터링 증착 기술과 전망

김상모 ,  김경환

전기전자재료학회논문지

2023 .03

동일 물질 타겟의 Co-sputtering 을 통해 제작한 고내구성 박막 전해질의 성능평가

이종혁 ,  이호재 ,  박정흠 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

RF-diode Sputtering법으로 제작한 Co박막의 자기특성과 미세구조

한창석 ,  김상욱

한국재료학회지

2018 .01

Physical and Electrical Properties of Zinc-tin-oxide Thin Films Deposited by Combinatorial Approach

Ignatius And ,  e Setiawan ,  Vasudeva Reddy Minnam Reddy 외 6명

한국에너지학회 학술발표회

2022 .04

스퍼터링을 이용한 바나듐 합금 박막화에 관한 연구

윤용호 ,  정지훈

화학공학

2016 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성

박인규 ,  유현지 ,  문혜수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

SiO₂를 이용하여 Sputtering 방법에 의하여 증착된 SiON 박막의 특성

이호택 ,  이학훈 ,  안지섭 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Effect of RF Sputtering Power on the Electrical Properties of Si–In–Zn–O Thin Film Transistors

변재민 ,  이상렬

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2019 .01

Li₂O Co-sputtering을 통한 LATP 고체전해질 제조 및 특성 평가

박준섭 ,  손은율 ,  신규철 외 4명

한국전지학회지

2022 .06

스퍼터링 공정 조건이 산화 구리 박막 특성에 미치는 영향

조재유 ,  허재영

Current Photovoltaic Research

2017 .03

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

기판 및 열처리 온도에 따른 SrWO₄:Dy³⁺, Eu³⁺ 형광체 박막의 특성

김정윤 ,  조신호

한국재료학회지

2016 .01