Enhancement of the Corrosion Resistance of CrN Film Deposited by Inductively Coupled Plasma Magnetron Sputtering

김성종; Sung-Yong Chun

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김성종 (Mokpo National Maritime University) Sung-Yong Chun (Mokpo National University)

저널정보: 한국부식방식학회 Corrosion Science and Technology CORROSION SCIENCE AND TECHNOLOGY 제20권 제3호

발행연도: 2021.1

수록면: 112 - 117 (6page)

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Inductively coupled plasma magnetron sputtering (ICPMS) has the advantage of being able to dramaticallyimprove coating properties by increasing the plasma ionization rate and the ion bombardment effectduring deposition. Thus, this paper presents the comparative results of CrN films deposited by direct currentmagnetron sputtering (dcMS) and ICPMS systems. The structure, microstructure, and mechanical andcorrosive properties of the CrN coatings were investigated by X-ray diffractometry, scanning electronmicroscopy, nanoindentation, and corrosion-resistance measurements. The as-deposited CrN films byICPMS grew preferentially on a 200 plane compared to dcMS on a 111 plane. As a result, the films depositedby ICPMS had a very compact microstructure with high hardness. The nanoindentation hardnessreached 19.8 GPa, and 13.5 GPa by dcMS. The corrosion current density of CrN film prepared by ICPMSwas about 9.8 × 10-6 mA/cm2, which was 1/470 of 4.6 × 10-3 mA/cm2, the corrosion current density of CrNfilm prepared by dcMS.

#Corrosion resistance #CrN #Films #Inductively coupled plasma #Sputtering

참고문헌 (16)

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B Subramanian / 2013 / Preparation of chromium oxynitride and chromium nitride films by DC reactive magnetron sputtering and their material properties / Corrosion Engineering, Science and Technology 46(4):554~561

Ying Kong / 2018 / Enhancement of toughness and wear resistance by CrN/CrCN multilayered coatings for wood processing / Surface and Coatings Technology 344:204~213

Ping-Kang Huang / 2009 / Effects of nitrogen content on structure and mechanical properties of multi-element (AlCrNbSiTiV)N coating / Surface and Coatings Technology 203(13):1891~1896

Hsiao-Ming Tung / 2009 / Hardness and residual stress in nanocrystalline ZrN films: Effect of bias voltage and heat treatment / Materials Science and Engineering: A 500(1-2):104~108

박상원 / 2013 / DC 스퍼터법과 비대칭 양극성 펄스 스퍼터법으로 제작된 고분자 전해질 연료전지 금속분리판용 CrN 코팅막의 특성 연구 / 한국세라믹학회지 50(6):390~395

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김성종

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 금속공학

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전성용

소속기관 목포대학교

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